Flow# 压力/流量偏置值存在偏差[错误代码:2338 2339 2340 2341 2342 2343]

原因¶

流量控制器的压力传感器的输出值变化很大。

措施¶

有压力传感器异常的可能性。停止气体供给，关闭仪器的主电源，并与您所在区域内的开元（中国）分公司联系。