放电气体流量不足[错误代码:4213]

原因¶

可能是下述原因导致压力及流量未能到达设定值：

• 气体的供给压力不足。
• 管路连接部位漏气。
• 供给管路的阻力较大(所连管路较长或管路内径较小)。

措施¶

• 请确认气体的总阀是否已打开。
• 请确认气体的供给压力是否在下述范围内。
  
  

  
  
  
  

  
• 如果使用氦气纯化器HP2，请确认管路连接部位是否漏气。
• 请确认管路连接部位是否松动或漏气。
• 请与您所在区域内的开元（中国）分公司联系，确认使用的管路内径和长度。