SCD氮气无法正常控制[错误代码:6167]

原因¶

SCD的氮气流量控制器未正常运行。

措施¶

• 请确认是否为输送氮气所需要的供给压力。
  
  

  
  
  
  

  
• 请确认气体的供给压力是否稳定。

如果确认上述事项后仍然反复显示错误，请关闭仪器的主电源，停止供给气体，并与您所在区域内的开元（中国）分公司或代理商联系。